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碳化硅生产设备

打造首款国产碳化硅生产设备， 德国PVA TePla集团助力 ...

Web 结果13 小时之前  在中国，电动汽车和诸多新兴行业的蓬勃发展为碳化硅衬底材料带来广阔机遇。碳化硅半导体材料的生产技术日渐成熟稳定，并已形成相当的工业规模。作 打造首款国产碳化硅生产设备， 德国PVA TePla集团助力 ...Web 结果13 小时之前  在中国，电动汽车和诸多新兴行业的蓬勃发展为碳化硅衬底材料带来广阔机遇。碳化硅半导体材料的生产技术日渐成熟稳定，并已形成相当的工业规模。作

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打造首款国产碳化硅生产设备， 德国PVA TePla集团助力 ...

Web 结果21 小时之前  该设备专为中国市场定制，并结合半导体行业生产特点，将德国的设计经验和理念与中国本土化生产配套能力优势联合，采用PVT法(物理气相传输工艺)生产 打造首款国产碳化硅生产设备， 德国PVA TePla集团助力 ...Web 结果21 小时之前  该设备专为中国市场定制，并结合半导体行业生产特点，将德国的设计经验和理念与中国本土化生产配套能力优势联合，采用PVT法(物理气相传输工艺)生产

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打造首款国产碳化硅生产设备， 德国PVA TePla集团助力 ...

Web 结果21 小时之前  打造首款国产碳化硅生产设备， 德国PVA TePla集团助力中国半导体产业高质发展 发布时间：2024-03-22 来源：投稿 责任编辑：admin 中国，上海 —2024 打造首款国产碳化硅生产设备， 德国PVA TePla集团助力 ...Web 结果21 小时之前  打造首款国产碳化硅生产设备， 德国PVA TePla集团助力中国半导体产业高质发展 发布时间：2024-03-22 来源：投稿 责任编辑：admin 中国，上海 —2024

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半导体碳化硅(SiC) 关键设备和材料技术进展的详解； - 知乎专栏

Web 结果2024年2月18日  东莞南方半导体科技有限公司 品质主管. 从SiC衬底、外延、芯片到模块,涉及单晶、切磨抛、外延、离子注入、热处理等关键装备,随着整体市场的蓬勃发 半导体碳化硅(SiC) 关键设备和材料技术进展的详解； - 知乎专栏Web 结果2024年2月18日  东莞南方半导体科技有限公司 品质主管. 从SiC衬底、外延、芯片到模块,涉及单晶、切磨抛、外延、离子注入、热处理等关键装备,随着整体市场的蓬勃发

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首片国产 6 英寸碳化硅晶圆发布，有哪些工艺设备？有

Web 结果2020-10-21 15:10. 根据东方卫视报道，首片国产 6 英寸碳化硅 MOSFET（金属氧化物场效应晶体管） 晶圆 于 10 月 16 日在上海正式发布。 从终端应用层上来看在碳化硅材料在高铁、汽车电子、智能 首片国产 6 英寸碳化硅晶圆发布，有哪些工艺设备？有 Web 结果2020-10-21 15:10. 根据东方卫视报道，首片国产 6 英寸碳化硅 MOSFET（金属氧化物场效应晶体管） 晶圆 于 10 月 16 日在上海正式发布。 从终端应用层上来看在碳化硅材料在高铁、汽车电子、智能

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2025市场达200亿，碳化硅关键设备企业迎历史机遇 - 知乎

Web 结果2023年11月12日  碳化硅产业链可以分为衬底、外延、芯片、封装四个环节，其中衬底占总成本达47%，外延占比23%，上游衬底和外延加起来占了70%的成本，这两个 2025市场达200亿，碳化硅关键设备企业迎历史机遇 - 知乎Web 结果2023年11月12日  碳化硅产业链可以分为衬底、外延、芯片、封装四个环节，其中衬底占总成本达47%，外延占比23%，上游衬底和外延加起来占了70%的成本，这两个

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又一巨头建设8英寸SiC产线，已采购这家国产设备 今

Web 结果2 天之前  今年一季度，碳化硅半导体行业进入传统淡季，然而优晶科技等企业却逆势增长：获得国际巨头8英寸SiC长晶设备订单，同时还将与2家韩国客户签约；获得国内200台设备订单，并且与2家光伏企 又一巨头建设8英寸SiC产线，已采购这家国产设备 今 Web 结果2 天之前  今年一季度，碳化硅半导体行业进入传统淡季，然而优晶科技等企业却逆势增长：获得国际巨头8英寸SiC长晶设备订单，同时还将与2家韩国客户签约；获得国内200台设备订单，并且与2家光伏企

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行 业 研 机械设备 关注碳化硅设备国产化突破和加速 究 2023 ...

Web 结果2023年2月26日  政策出台，碳化硅设备将加快国产化步伐。 产业链拆解：重点推荐国产衬底磨抛设备和芯片封装固化设备 衬底环节是碳化硅器件制造中最核心、最困难 行 业 研 机械设备 关注碳化硅设备国产化突破和加速 究 2023 ...Web 结果2023年2月26日  政策出台，碳化硅设备将加快国产化步伐。 产业链拆解：重点推荐国产衬底磨抛设备和芯片封装固化设备 衬底环节是碳化硅器件制造中最核心、最困难

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产业加速扩张之下，碳化硅设备成入局“香饽饽”_腾讯新闻

Web 结果2022年12月15日  大族激光在近期指出，公司应用于第三代半导体的SiC晶锭激光切片机、SiC超薄晶圆激光切片机正在客户处做量产验证。 11月，宇晶股份在接受机构 产业加速扩张之下，碳化硅设备成入局“香饽饽”_腾讯新闻Web 结果2022年12月15日  大族激光在近期指出，公司应用于第三代半导体的SiC晶锭激光切片机、SiC超薄晶圆激光切片机正在客户处做量产验证。 11月，宇晶股份在接受机构

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打造首款国产碳化硅生产设备， 德国PVA TePla集团助力 ...

Web 结果21 小时之前  中国，上海—2024年3月20日，半导体行业盛会 SEMICON China 2024启幕，全球高端半导体设备制造商德国PVA TePla集团再次亮相，并向行业展示其最新打造的国产碳化硅晶体生长设备“SiCN”。该设备专为中国市场定制， 打造首款国产碳化硅生产设备， 德国PVA TePla集团助力 ...Web 结果21 小时之前  中国，上海—2024年3月20日，半导体行业盛会 SEMICON China 2024启幕，全球高端半导体设备制造商德国PVA TePla集团再次亮相，并向行业展示其最新打造的国产碳化硅晶体生长设备“SiCN”。该设备专为中国市场定制，

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造一颗SiC芯片，需要哪些关键设备？_工艺_碳化硅_中国

Web 结果2023年5月21日  碳化硅器件生产各工艺环节关键设备 由于SiC工艺的特殊性，传统用于Si基功率器件制备的设备已不能满足需求，需要增加一些专用的设备作为支撑，如材料制备中的碳化硅单晶生长炉、金 造一颗SiC芯片，需要哪些关键设备？_工艺_碳化硅_中国Web 结果2023年5月21日  碳化硅器件生产各工艺环节关键设备 由于SiC工艺的特殊性，传统用于Si基功率器件制备的设备已不能满足需求，需要增加一些专用的设备作为支撑，如材料制备中的碳化硅单晶生长炉、金

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打造首款国产碳化硅生产设备， 德国PVA TePla集团助力 ...

Web 结果21 小时之前  该设备专为中国市场定制，并结合半导体行业生产特点，将德国的设计经验和理念与中国本土化生产配套能力优势联合，采用PVT法(物理气相传输工艺)生产碳化硅晶体，计划于2024年第二季度投入市场。 德国PVA TeP 打造首款国产碳化硅生产设备， 德国PVA TePla集团助力 ...Web 结果21 小时之前  该设备专为中国市场定制，并结合半导体行业生产特点，将德国的设计经验和理念与中国本土化生产配套能力优势联合，采用PVT法(物理气相传输工艺)生产碳化硅晶体，计划于2024年第二季度投入市场。 德国PVA TeP

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晶盛机电:迈向半导体+碳化硅设备龙头,设备+零部件布局铸造 ...

Web 结果2023年7月17日  半导体硅片生产 工序流程与光伏硅片相似，但不同之处在于： 1）光伏长晶炉在整线中价值量占比超过 80%，而半导体硅片设备中单晶炉、切磨抛 设备、外延炉在整线中价值量占比均较高； 2）由于技术壁垒较高，半导体硅片单台价值量远高于光伏。. 长晶工艺 ... 晶盛机电:迈向半导体+碳化硅设备龙头,设备+零部件布局铸造 ...Web 结果2023年7月17日  半导体硅片生产 工序流程与光伏硅片相似，但不同之处在于： 1）光伏长晶炉在整线中价值量占比超过 80%，而半导体硅片设备中单晶炉、切磨抛 设备、外延炉在整线中价值量占比均较高； 2）由于技术壁垒较高，半导体硅片单台价值量远高于光伏。. 长晶工艺 ...

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产业加速扩张之下，碳化硅设备成入局“香饽饽”_腾讯新闻

Web 结果2022年12月15日  在外延设备方面，晶盛机电表示，公司生产的SiC碳化硅外延设备 为公司独立研发设计和生产制造，核心技术均拥有独立的知识产权，目前已实现批量销售。 季华实验室也在4月表示，由季华实验室大功率半导体研究团队自主研发的6英寸SiC高温外延 ... 产业加速扩张之下，碳化硅设备成入局“香饽饽”_腾讯新闻Web 结果2022年12月15日  在外延设备方面，晶盛机电表示，公司生产的SiC碳化硅外延设备 为公司独立研发设计和生产制造，核心技术均拥有独立的知识产权，目前已实现批量销售。 季华实验室也在4月表示，由季华实验室大功率半导体研究团队自主研发的6英寸SiC高温外延 ...

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浅析国产碳化硅外延炉设备 - 知乎

Web 结果2024年1月17日  浅析国产碳化硅外延炉设备. 石大小生. . 北京北方华创微电子装备有限公司 销售. . 目录. 受益于碳化硅下游市场需求逐步放大，国内多个碳化硅外延项目发布了扩产和新建开工的计划：. 一代工艺一代设备，外延生长在SiC器件制造成本中占比超20%，SiC外延炉是 第 ... 浅析国产碳化硅外延炉设备 - 知乎Web 结果2024年1月17日  浅析国产碳化硅外延炉设备. 石大小生. . 北京北方华创微电子装备有限公司 销售. . 目录. 受益于碳化硅下游市场需求逐步放大，国内多个碳化硅外延项目发布了扩产和新建开工的计划：. 一代工艺一代设备，外延生长在SiC器件制造成本中占比超20%，SiC外延炉是 第 ...

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打造首款国产碳化硅生产设备， 德国PVA TePla集团助力 ...

Web 结果21 小时之前  打造首款国产碳化硅生产设备， 德国PVA TePla集团助力中国半导体产业高质发展 发布时间：2024-03-22 来源：投稿 责任编辑：admin 中国，上海 —2024年3月20日，半导体行业盛会 SEMICON China 2024启幕，全球高端半导体设备制造商德国PVA TePla集团再次亮相，并向行业展示其最新打造的国产碳化硅晶体生长设备 ... 打造首款国产碳化硅生产设备， 德国PVA TePla集团助力 ...Web 结果21 小时之前  打造首款国产碳化硅生产设备， 德国PVA TePla集团助力中国半导体产业高质发展 发布时间：2024-03-22 来源：投稿 责任编辑：admin 中国，上海 —2024年3月20日，半导体行业盛会 SEMICON China 2024启幕，全球高端半导体设备制造商德国PVA TePla集团再次亮相，并向行业展示其最新打造的国产碳化硅晶体生长设备 ...

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打造首款国产碳化硅生产设备， 德国PVA TePla集团助力 ...

Web 结果13 小时之前  在中国，电动汽车和诸多新兴行业的蓬勃发展为碳化硅衬底材料带来广阔机遇。碳化硅半导体材料的生产技术日渐成熟稳定，并已形成相当的工业规模。作为最早将碳化硅晶体设备引入中国市场的企业之一，德国PVA TePla集团始终致力于融合中德前沿技术优势。 打造首款国产碳化硅生产设备， 德国PVA TePla集团助力 ...Web 结果13 小时之前  在中国，电动汽车和诸多新兴行业的蓬勃发展为碳化硅衬底材料带来广阔机遇。碳化硅半导体材料的生产技术日渐成熟稳定，并已形成相当的工业规模。作为最早将碳化硅晶体设备引入中国市场的企业之一，德国PVA TePla集团始终致力于融合中德前沿技术优势。

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碳化硅衬底设备行业深度报告：新能源需求兴起，国产替代有 ...

Web 结果2022年3月22日  掌握了碳化硅晶 片生产的“设备研制—原料合成—晶体生长—晶体切割—晶片加工—清洗检测”全 流程关键技术和工艺。2020 年 8 月 17，公司碳化硅 ... 碳化硅衬底设备行业深度报告：新能源需求兴起，国产替代有 ...Web 结果2022年3月22日  掌握了碳化硅晶 片生产的“设备研制—原料合成—晶体生长—晶体切割—晶片加工—清洗检测”全 流程关键技术和工艺。2020 年 8 月 17，公司碳化硅 ...

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技术碳化硅产业链条核心：外延技术 - 知乎

Web 结果2020年12月2日  技术碳化硅产业链条核心：外延技术. 碳化硅功率器件与传统硅功率器件制作工艺不同，不能直接制作在碳化硅单晶材料上，必须在导通型单晶衬底上额外生长高质量的外延材料，并在外延层上制造各类器件。. 碳化硅一般采用PVT方法，温度高达2000多度，且加工 ... 技术碳化硅产业链条核心：外延技术 - 知乎Web 结果2020年12月2日  技术碳化硅产业链条核心：外延技术. 碳化硅功率器件与传统硅功率器件制作工艺不同，不能直接制作在碳化硅单晶材料上，必须在导通型单晶衬底上额外生长高质量的外延材料，并在外延层上制造各类器件。. 碳化硅一般采用PVT方法，温度高达2000多度，且加工 ...

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碳化硅产品的应用方向和生产过程 - 知乎

Web 结果2022年3月7日  来源：《拆解PVT生长碳化硅的技术点》 工艺的不同导致碳化硅长晶环节相比硅基而言主要有两大劣势。生产难度大，良率较低。碳化硅气相生长的温度在2300℃以上，压力350MPa，全程暗 碳化硅产品的应用方向和生产过程 - 知乎Web 结果2022年3月7日  来源：《拆解PVT生长碳化硅的技术点》 工艺的不同导致碳化硅长晶环节相比硅基而言主要有两大劣势。生产难度大，良率较低。碳化硅气相生长的温度在2300℃以上，压力350MPa，全程暗

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行 业 研 机械设备 关注碳化硅设备国产化突破和加速 究 2023 ...

Web 结果2023年2月26日  《工业母机、碳化硅设备国产化再迎 利好—行业周报》-2023.2.12 《制造业基础核心部件、底层软件高 端自主化战略意义提升—行业点评报 告》-2023.2.7 证 关注碳化硅设备国产化突破和加速 ——行业周报 孟鹏飞（分析师） 熊亚威（分析师） mengpengfei@ 行 业 研 机械设备 关注碳化硅设备国产化突破和加速 究 2023 ...Web 结果2023年2月26日  《工业母机、碳化硅设备国产化再迎 利好—行业周报》-2023.2.12 《制造业基础核心部件、底层软件高 端自主化战略意义提升—行业点评报 告》-2023.2.7 证 关注碳化硅设备国产化突破和加速 ——行业周报 孟鹏飞（分析师） 熊亚威（分析师） mengpengfei@

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为什么碳化硅要用外延，而不是直接切一片厚的晶圆？

Web 结果2023年8月19日  在国产外延设备方面，北方华创、晶盛机电等企业开始小批量生产碳化硅外延设备，且当下存在发展的良机。 一是目前国内外延片的制备受限于设备交付环节（疫情等原因），无法快速放 为什么碳化硅要用外延，而不是直接切一片厚的晶圆？Web 结果2023年8月19日  在国产外延设备方面，北方华创、晶盛机电等企业开始小批量生产碳化硅外延设备，且当下存在发展的良机。 一是目前国内外延片的制备受限于设备交付环节（疫情等原因），无法快速放

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碳化硅 ~ 制备难点 - 知乎

Web 结果2023年3月13日  晶体制备. 由于物理的特性，碳化硅材料拥有很高的硬度，目前仅次于金刚石，因此在生产上势必要在高温与高压的条件下才能生产。. 以PVT法为例，碳化硅晶体制备面临以下困难：. 温场控制困难、生产速度缓慢：以目前的主流制备方法物理气相传输法（PVT）为 ... 碳化硅 ~ 制备难点 - 知乎Web 结果2023年3月13日  晶体制备. 由于物理的特性，碳化硅材料拥有很高的硬度，目前仅次于金刚石，因此在生产上势必要在高温与高压的条件下才能生产。. 以PVT法为例，碳化硅晶体制备面临以下困难：. 温场控制困难、生产速度缓慢：以目前的主流制备方法物理气相传输法（PVT）为 ...

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小议碳化硅的国产化 - 知乎

Web 结果2020年10月19日  设备方面：碳化硅生产的高端设备 ，基本掌握在欧美手中。国内核心设备正在加紧国产化。但检测设备与国内其他行业的同类产品一样，是非常大的短板。笔者认为，第三代半导体的国产化比第二代半导体要稍微乐观一些 ... 小议碳化硅的国产化 - 知乎Web 结果2020年10月19日  设备方面：碳化硅生产的高端设备 ，基本掌握在欧美手中。国内核心设备正在加紧国产化。但检测设备与国内其他行业的同类产品一样，是非常大的短板。笔者认为，第三代半导体的国产化比第二代半导体要稍微乐观一些 ...

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第三代半导体发展之碳化硅（SiC）篇 - 知乎

Web 结果2019年9月5日  碳化硅功率器件生产过程 衬底方面：通常用Lely法制造，国际主流产品正从4英寸向6英寸过渡，且已经开发出8英寸导电型衬底产品，国内衬底以4英寸为主，质量相对薄弱，主要用于生产10A以下小电流产品，目前单晶生长缓慢且品质不够稳定是碳化硅价格高、市场推广慢的重要原因。 第三代半导体发展之碳化硅（SiC）篇 - 知乎Web 结果2019年9月5日  碳化硅功率器件生产过程 衬底方面：通常用Lely法制造，国际主流产品正从4英寸向6英寸过渡，且已经开发出8英寸导电型衬底产品，国内衬底以4英寸为主，质量相对薄弱，主要用于生产10A以下小电流产品，目前单晶生长缓慢且品质不够稳定是碳化硅价格高、市场推广慢的重要原因。

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【碳化硅生产设备】_碳化硅生产设备品牌/图片/价格_碳化硅 ...

Web 结果找碳化硅生产设备，上阿里巴巴1688，全球领先采购批发平台，阿里巴巴为你找到1,229条碳化硅生产设备优质商品，包括品牌，价格，图片，厂家，产地，材料等，海量碳化硅生产设备,供您挑选，阿里巴巴批发采购一站式全程服务,让生意变的温馨放心。 【碳化硅生产设备】_碳化硅生产设备品牌/图片/价格_碳化硅 ...Web 结果找碳化硅生产设备，上阿里巴巴1688，全球领先采购批发平台，阿里巴巴为你找到1,229条碳化硅生产设备优质商品，包括品牌，价格，图片，厂家，产地，材料等，海量碳化硅生产设备,供您挑选，阿里巴巴批发采购一站式全程服务,让生意变的温馨放心。

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疯狂的碳化硅，国内狂追！-全球半导体观察

Web 结果2024年1月24日  碳化硅器件制造则与设备国产化进程息息相关，设备需求主要包括高温离子注入机、高温退火炉、SiC减薄设备、背面金属沉积设备、背面激光退火设备、SiC衬底和外延片表面缺陷检测和计量。 近几年是国产设备厂商的黄金发展3年，我国上 疯狂的碳化硅，国内狂追！-全球半导体观察Web 结果2024年1月24日  碳化硅器件制造则与设备国产化进程息息相关，设备需求主要包括高温离子注入机、高温退火炉、SiC减薄设备、背面金属沉积设备、背面激光退火设备、SiC衬底和外延片表面缺陷检测和计量。 近几年是国产设备厂商的黄金发展3年，我国上

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碳化硅的合成、用途及制品制造工艺

Web 结果2020年6月10日  碳化硅是用天然硅石、碳、木屑、工业盐作基本合成原料，在电阻炉中加热反应合成。. 其中加入木屑是为了使块状混合物在高温下形成多孔性，便于反应产生的大量气体及挥发物从中排除，避免发生爆炸，因为合成IT碳化硅，将会生产约1.4t的一氧化碳 (CO ... 碳化硅的合成、用途及制品制造工艺Web 结果2020年6月10日  碳化硅是用天然硅石、碳、木屑、工业盐作基本合成原料，在电阻炉中加热反应合成。. 其中加入木屑是为了使块状混合物在高温下形成多孔性，便于反应产生的大量气体及挥发物从中排除，避免发生爆炸，因为合成IT碳化硅，将会生产约1.4t的一氧化碳 (CO ...

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碳化硅设备行业深度报告：多技术并行，衬底切片设备加速 ...

Web 结果2023年4月26日  碳化硅设备行业深度报告：多技术并行，衬底切片设备加速国产化. 1. 碳化硅高性能+低损耗，产业化受制于衬底产能. 1.1. 半导体材料更迭四代，宽禁带材料突破瓶颈. 在高性能和低能耗半导体器件驱动下，半导体材料经历四次更迭。. 半导 体材料是制造半导体 ... 碳化硅设备行业深度报告：多技术并行，衬底切片设备加速 ...Web 结果2023年4月26日  碳化硅设备行业深度报告：多技术并行，衬底切片设备加速国产化. 1. 碳化硅高性能+低损耗，产业化受制于衬底产能. 1.1. 半导体材料更迭四代，宽禁带材料突破瓶颈. 在高性能和低能耗半导体器件驱动下，半导体材料经历四次更迭。. 半导 体材料是制造半导体 ...

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